高真空多源集成复合薄膜制备系统项目政府采购意向公开
作者：仪器与智能控制学院 时间：2026-10-12
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将西安石油大学2026年度（第67批）采购意向公开如下：
序号 |
采购项目名称 |
采购需求概况 |
预算金额(万元) |
预计采购时间 |
备注 |
1 |
高真空多源集成复合薄膜制备系统 |
采购内容：高真空多源集成复合薄膜制备系统 采购数量：1批 主要功能或目标：高真空多源集成复合薄膜制备系统主要由真空系统、进样系统、磁控溅射与等离子多源耦合沉积系统、加热及特殊退火样品后处理系统、电控系统、辅助系统等、PLC+工控机+液晶屏全自动控制系统等组成。 本系统适用于纳米量级功能膜、多层结构复合膜、材料改性及表面处理等特定科研需求的实验制备；适用于四靶单独溅射、依次溅射、共同溅射；强磁靶可溅射磁性材料；适用于制备金属膜、合金膜、半导体膜、磁性膜、陶瓷膜等。 需满足的要求：安装部署调试、售后支持等。营业执照，产品质量应当符合国家行业规定的硬件要求与行业标准，3年及以上质保，软件免费升级等服务。 |
98.000000 |
2026年11月 |
无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
西安石油大学
2026年10月12日
原文链接：http://www.ccgp-shaanxi.gov.cn/freecms/site/shaanxi/ggxx/info/2026/8a69c622a12164a901a123de8d754abd.html?noticeType=59¬iceId=bed8f5e0-c60e-11f1-8063-08c0eb20c666
